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硅烷是硅與氫的不同分子結構的化合物，有甲硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷、環(huán)戊硅烷硅烷等多種類型，硅烷生產(chǎn)裝置在原料和產(chǎn)品裝卸及生產(chǎn)過程中都會正常有組織排放原料、中間體和產(chǎn)品尾氣，并且在操作事故時會緊急排放大量原料、中間體和產(chǎn)品氣液混合物，這些氣液混合物包含甲硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷、環(huán)戊硅烷等硅烷類型的兩三種或更多種類。

氯硅烷是硅、氯、氫的化合物，有一氯三氫硅、二氯二氫硅、三氯氫硅以及四氯化硅，在生產(chǎn)中也會有組織排放原料、中間體和產(chǎn)品尾氣，并且在操作事故時會緊急排放大量原料、中間體和產(chǎn)品氣液混合物。

硅烷和氯硅烷排放的尾氣都是易燃易爆和有毒有害物質(zhì)，如果處理不當造成泄漏，會帶來燃爆和危及生命健康的嚴重事故，所以生產(chǎn)企業(yè)以及環(huán)保、安全監(jiān)察職能部門都非常重視這類生產(chǎn)裝置的尾氣處理。硅烷和氯硅烷尾氣根據(jù)不同工況條件，可以選擇濕法水解或干法焚燒工藝。濕法水解工藝是將硅烷、氯硅烷尾氣通過堿催化水解，再經(jīng)過多級洗滌吸收未能水解的尾氣，使尾氣中的氯化氫等有害氣體達到環(huán)保排放標準要求。中和堿采用燒堿或石灰，也可以聯(lián)合采用石灰和燒堿，產(chǎn)出物為活性二氧化硅、氯化鈣、硅酸鈉、硅酸鈣、氯化鈉的單獨固體或混合固體，可以作為產(chǎn)品銷售。裝置工藝水循環(huán)使用，不排放廢水。如果裝置尾氣排放速率相對穩(wěn)定，排放速率大小相差不大，尤其是較難水解的硅烷品種，可以選用干法焚燒工藝模式，使用天然氣作為引燃和加熱燃料，配入合適流量的助燃空氣，使送入焚燒爐的尾氣燃燒和分解，燃燒分解尾氣與固體活性二氧化硅分離后，經(jīng)過燒堿水溶液多級洗滌吸收，達標后高空排放。產(chǎn)出物為二氧化硅和液體硅酸鈉，可以作為產(chǎn)品銷售，裝置工藝水循環(huán)使用，不排放廢水。硅烷和氯硅烷尾氣處理的副產(chǎn)品，因雜質(zhì)較少，以適當?shù)膬r格易于銷售，可以顯著降低尾氣處理成本。